キャビテーションを有効利用した硬脆基板材料の吸引式超精密微細形状創成法の開発 (平成14年度助成 研究成果特集 ; 学術研究(第40回))

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キャビテーションを有効利用した硬脆基板材料の吸引式超精密微細形状創成法の開発

(平成14年度助成 研究成果特集 ; 学術研究(第40回))

国立国会図書館請求記号
Z22-306
国立国会図書館書誌ID
7124845
資料種別
記事
著者
大橋 一仁
出版者
岡山 : 山陽放送学術文化財団
出版年
2004-10
資料形態
掲載誌名
公益財団法人山陽放送学術文化財団リポート / 山陽放送学術文化財団 編 (48) 2004.10
掲載ページ
p.19~23
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資料種別
記事
著者・編者
大橋 一仁
著者標目
タイトル(掲載誌)
公益財団法人山陽放送学術文化財団リポート / 山陽放送学術文化財団 編
巻号年月日等(掲載誌)
(48) 2004.10
掲載号
48
掲載ページ
19~23
掲載年月日(W3CDTF)
2004-10