対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果

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対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7188174
資料種別
記事
著者
小方 淳也ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2004-11-11
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104(425) 2004.11.11
掲載ページ
p.27~31
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
小方 淳也
伊藤 雄二
坪井 望 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
104(425) 2004.11.11
掲載巻
104
掲載号
425
掲載ページ
27~31
掲載年月日(W3CDTF)
2004-11-11