Cat-CVD法による表面パッシベーション膜を用いた高信頼度GaN HEMT

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Cat-CVD法による表面パッシベーション膜を用いた高信頼度GaN HEMT

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7254590
資料種別
記事
著者
國井 徹郎ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2005-01-18
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104(552) 2005.1.18
掲載ページ
p.25~30
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
國井 徹郎
戸塚 正裕
加茂 宣卓 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
104(552) 2005.1.18
掲載巻
104
掲載号
552
掲載ページ
25~30
掲載年月日(W3CDTF)
2005-01-18