プラズマ化学気相堆積...

プラズマ化学気相堆積により成膜したhigh-k膜のX線光電子分光

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プラズマ化学気相堆積により成膜したhigh-k膜のX線光電子分光

国立国会図書館請求記号
Z15-493
国立国会図書館書誌ID
7892811
資料種別
記事
著者
及川 圭太ほか
出版者
東京 : 放電学会
出版年
2006-03
資料形態
掲載誌名
放電研究 : 放電学会誌 49(1) 2006.3
掲載ページ
p.39~42
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
及川 圭太
伊藤 俊秀
高瀬 雅之 他
タイトル(掲載誌)
放電研究 : 放電学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
49(1) 2006.3
掲載巻
49
掲載号
1
掲載ページ
39~42
掲載年月日(W3CDTF)
2006-03