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角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み (特集 極薄膜の深さ方向分析)

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角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み

(特集 極薄膜の深さ方向分析)

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
9265491
資料種別
記事
著者
野平 博司ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
2007-11
資料形態
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 28(11) 2007.11
掲載ページ
p.620~625
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
野平 博司
中嶋 薫
木村 健二 他
並列タイトル等
New approach to highly accurate depth profiling using angle-resolved photoelectron spectroscopy
タイトル(掲載誌)
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
28(11) 2007.11
掲載巻
28
掲載号
11