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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 白澤 徹郎水野 清義栃原 浩 他
- 並列タイトル等
- New crystals and new materials: Crystalline SiON ultrathin film on SiC
- タイトル（掲載誌）
- 固体物理 / アグネ技術センター [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 43(4) (通号 506) 2008.4
- 掲載巻
- 43
- 掲載号
- 4
- 掲載通号
- 506