産業技術総合研究所次世代半導体研究センター

詳細情報

ID

00881802

典拠種別Type of Authority

団体名Corporate Names

名称/タイトルName / Title

産業技術総合研究所次世代半導体研究センター

名称/タイトルのカナ読みKatakana Transcription of Name / Title

サンギョウ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ジセダイ ハンドウタイ ケンキュウ センター

名称/タイトルのローマ字読みRoman Transliteration of Name / Title

Sangyo Gijutsu Sogo Kenkyujo Jisedai Handotai Kenkyu Senta

別名/別タイトルVariant Name(s) / Title(s)

次世代半導体研究センター (ジセダイ ハンドウタイ ケンキュウ センター); National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Advanced Semiconductor Research Center（英語名）; AIST ASRC（略称）

設立年Date of Establishment

2001

来歴Corporate History

独立行政法人

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NDL|00881802 (VIAF)

出典Sources

EUVリソグラフィー用プラズマ光源に関する技術的考察 / 富江敏尚 [著] ; 産業技術総合研究所次世代半導体研究センター 編

作成日Date Created

2002-07-15

最終更新日Last Updated

2002-07-30T18:52:00

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