スパッタリング

詳細情報

ID

01155699

典拠種別Type of Authority

普通件名Topical Terms

名称/タイトルName / Title

スパッタリング

名称/タイトルのカナ読みKatakana Transcription of Name / Title

スパッタリング

名称/タイトルのローマ字読みRoman Transliteration of Name / Title

Supattaringu

同義語Variant Term(s)

スパッタ; スパッタリング技術 (スパッタリングギジュツ); スパッタリング法 (スパッタリングホウ); スパッタ技術 (スパッタギジュツ); Sputtering (Physics)

上位語Broader Term(s)

衝突 (原子物理学)

関連語Related Term(s)

表面 (工学); 薄膜

分類記号Classification Number(s)

428.4 (NDC9); 549.8 (NDC9); MC141 (NDLC); ND371 (NDLC)

関連リンクRelated Links

sh85127061 (LCSH)

出典Sources

スパッタ実務「Q&A集」 / 藤本登 企画編集
エレクトロニクス用語事典 改訂4版

作成日Date Created

2009-04-03

最終更新日Last Updated

2011-07-14T09:23:44

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