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スパッタリング

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詳細情報

ID
01155699
典拠種別Type of Authority
普通件名Topical Terms
標目Heading
スパッタリング (スパッタリング)
標目のローマ字読みTransliteration of Heading
Supattaringu
同義語Variant(s)
スパッタ; スパッタリング技術 (スパッタリングギジュツ); スパッタリング法 (スパッタリングホウ); スパッタ技術 (スパッタギジュツ); Sputtering (Physics)
上位語Broader Term(s)
衝突 (原子物理学)
関連語Related Term(s)
分類記号Classification Number(s)
428.4 (NDC9); 549.8 (NDC9); MC141 (NDLC); ND371 (NDLC)
関連リンクRelated Links
sh85127061 (LCSH)
出典Sources
スパッタ実務「Q&A集」 / 藤本登 企画編集
エレクトロニクス用語事典 改訂4版
作成日Date Created
2009-04-03
最終更新日Last Updated
2011-07-14T09:23:44
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